将多弧离子镀、磁过滤、脉冲工件负偏压结合在一起，研制成功了总体指标接近国际先进水平的多功能多弧离子镀膜系统；利用研制的设备系统制备了刀具、模具用硬质薄膜（包括TiN、TiB2、（Ti，Al）N、（Ti，Cr）N、TiN基纳米多层复合膜等），并对薄膜的显微结构和性能进行了系统表征。 研制的（Ti，Al）N薄膜硬度高于HV4000，划痕法临界载荷大于50N，镀膜后提高刀具切削寿命7倍；TiN基纳米多层复合膜硬度高于40GPa，镀膜后提高刀具切削寿命15倍；刀具沉积TiN、（Ti，Al）N、（Ti，Cr）N、TiN基纳米多层复合膜后均使被加工工件的表面质量得到明显改善。 本项目研制的镀膜设备及薄膜不仅在刀具、模具行业具有巨大的市场需求，而且在精密耐磨件、集成电路制造、汽车制造等领域中也有巨大的市场应用潜力。