多晶硅是半导体和太阳能电池光伏等产业最关键的基础材料。由于多晶硅生产会产生大量的强腐蚀、强毒性的四氯化硅，造成很大的环境污染和资源浪费。实施冷氢化（氯氢化）生产工艺回收再利用四氯化硅是多晶硅生产降低能耗和降低成本的有效途径。但实现冷氢化工艺的工业生产很大的一个技术难点是在高温、高压、强腐蚀工况条件下，能够长时间、稳定生产的专用技术装备的制造。