微机电系统（MEMS）具有体积小、重量轻、成本低、可靠度高等特点，在航空、航天、汽车、消费电子等领域具有广阔应用价值。MEMS设计过程复杂，高效的设计工具现已成为制约我国MEMS产业发展的关键。设计工具分为系统级、器件级、工艺级三个设计层级，并具有三个层级之间的全部数据传递接口，支持不同工程背景的设计者任意入口，任意流程的设计，该设计工具满足大多数机电耦合类MEMS器件的设计和仿真。相关成果获发明专利11项，并获国家技术发明二等奖。性能指标：设计工具具有系统级、器件级和工艺级三个设计层级，支持大多数机电耦合类MEMS器件的设计仿真，如微机械陀螺、微加速度计等，仿真速度达到国际先进MEMS CAD水平。特 点：1.设计工具中完整的数据接口支持任意设计流程；2.丰富的宏模型提取技术支持MEMS器件的创新设计。适用范围：适用于多种MEMS器件的开发，如惯性MEMS、光学MEMS、RF MEMS。应用推广情况：项目成果已在30多个企业、研究院所应用，并结合国家重要需求，提供国外产品无法提供的定制式设计服务，产生了显著社会效益。效益分析：使用本系统能使MEMS器件，一方面提高MEMS设计者的设计能力，实现了传统设计方法无法完成的复杂MEMS结构集成设计，另一方面设计开发效率提高3-5倍，可产生直接经济效益。投资规模：本项目为软件工具，成本主要包括技术成本、开发成本、售后服务及升级等。单套软件成本约20-40万元，视具体需求及技术要求不同。